为什么我们需要在微机械微带天线的硅衬底二氧化硅？

[ihamieh]

嗨，我不知道为什么我们需要在微机械微带天线的硅衬底二氧化硅？我设计了一个堪与气腔硅衬底矩形阵列天线，但我已经对他们使用的一些原因，硅衬底上一层薄薄的SiO2看到多个文件。有谁知道？我欣赏的帮助下，萨姆

 

[yadavvlsi]

空气间隙腔阵列天线是难以伪造。悬挂结构可能会破坏在蚀刻过程中，由于其自身的重量。

 

[ihamieh]

你好Yadavvlsi因此，我们必须删除该修补程序后，存放在二氧化硅（SiO2）的？唯一我觉得迷惑的是，我不知道为什么最常用的文件在硅衬底不使用计算（补丁和插图美联储尺寸），这层SiO2！请指教，

 

[yadavvlsi]

人们不给所有的研究论文资料。它们在某种程度上计算厚度，却没有让在它的研究论文。他们要么利用电脑模拟来获得（通过改变自身在制造二氧化硅的厚度），或一些受欢迎和审判。如果他们得以在所有的数据文件，任何人都可以复制他们的工作。

 

[ihamieh]

你好Yadavvlsi，你觉得我们可以省略了二氧化硅的制备过程，如果我们有足够厚度的硅下面的补丁？我想250um厚度硅补丁和空气腔250um！请指教，谢谢，山姆[报价= yadavvlsi; 886265]人们不给所有的研究论文的资料。它们在某种程度上计算厚度，却没有让在它的研究论文。他们要么利用电脑模拟来获得（通过改变自身在制造二氧化硅的厚度），或一些受欢迎和审判。如果他们得以在所有的数据文件，任何人都可以复制他们的工作。[/报价]

 

[yadavvlsi]

你是研究学者？您使用的是何种工具设计？你能张贴您设计的屏幕截图。？是否有空气腔不使用二氧化硅的具体原因是什么？