什么是“直接晶圆书面”？

[ɳ]

亲爱的，

正如我在读匹配的MOS晶体管性能是由Pelgrom写，等。

在这个文件中，他指出，“直接写入晶片”（DWW）。

我只是在谷歌搜索关键词，但一无所获。

如果有人知道这件事，plz告诉我。

感谢这么如此如此如此多!!!!!

 

[Guest]

[No message]

 

[truejiaqi]

我猜想这可能是指“电子束曝光”，要在晶圆上，而不是使用一个面具和一些紫外线下，他们使用电子束拍摄模式
， 在晶圆上。然后
， 你还需要一个特殊的化学材料
， 这是敏感的电子束。
这是从我的记忆中回忆在学校时从关于IC技术课程。所以
， 请确认与其他人或来源。
祝您好运！