关于RFCMOS工艺..

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亲爱的:
在0.18微米工艺的RFCMOS,为什么金属5需要更广泛的宽度比
其他金属层?

谢谢。

 
金属5,这是宽,低ressitivity,能够进行大电流是勉补给线

另一种是用于螺旋电感器
, 以便它给予更高的品质因数的事情,所以尽量减少电阻
, 电感尺系列

khouly

 
感谢您的答复,
如果不使用M5的是做电感,只有连接,M5的收缩至0.5um(不关心layotu规则)会发生什么过程?
将粉碎或毛坯或其他现象呢?

谢谢。

 
我认为
, 如果U减少金属的大小,可能会导致金属migratioin,这可能会失败的金属

khouly

 

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