在金属层的薄层电阻

[eecs4ever]

在金属层的金属线，为什么RS（薄膜电阻，欧姆/平方）较低时，金属线之间的的间距较大？例如，宽度= 0.2微米的空间= 2 UM卢比= 0.137欧姆/平方米宽度= 0.2微米空间= 0.2um RS = 0.037欧姆/平方米的感谢。

 

[shankarmit]

薄层电阻取决于金属... ...我觉得是有没有金属间距之间的关系... ... ü哪儿得到这个信息。可以寄给我... ...如果u得到的答复邮件给我[电子邮件] shankar.mit @ gmail.com [/电子邮件]感谢问候尚卡尔

 

[leeenghan]

您好，当金属closly间隔，金属蚀刻不足，从而RS较低。当金属间距相距甚远，金属蚀刻过，因此有“金属”单位体积，从而卢比较高。例如，在“凌晨”的效果，金属矩形，但有坡度的侧墙上。我认为0.13微米及以下的卢比有模型这种效果。关于韩，英 www.eda utilities.com

 

[spauls]

我认为克服IR压降问题。

 

[Dalicko]

我同意与尚卡尔，有没有金属间距依赖于薄膜电阻，normaly。您有更多的指定你的几何。你的材料（基材，金属）可以在你的实验中发挥的作用probabely。 BR Dalicko

 

[cdic]

为90纳米或以下，薄膜电阻会有所不同，如果金属间距和宽度是不同的，它是由于制造工艺的差异，如leeenghan指出，，但为0.13及以上，有相同。

 

[nav_vlsi]

我不找任何薄膜电阻和金属间距之间的关系。片电阻，特别是金属的属性。它是固定的代工人。其中作为金属间距是固定由一个ASIC的物理设计团队

 

[jemmy]

我想原因是绘制宽度并不总是硅宽度。当你流片设计，晶圆代工将产生光刻面具，首先根据您的布局。但normmaly面具是从不同的布局，尤其是当OPC拓科技是用来达到更好的产量在013u或以下。线的宽度调整的结果之一。 Normmaly在光刻过程中，50％的格局密度将得到最好的打印效果。因此，当宽/空间布局中0.2u/2u，面膜的大小可能0.3u/1.8u（代工取决于）。然后，您会看到不同的RS。 [SIZE = 2] [颜色=＃999999] 12分钟后添加：[/彩色] [/SIZE] [报价= leeenghan]嗨，当金属closly间隔，金属蚀刻不足，从而RS较低。当金属间距相距甚远，金属蚀刻过，因此有“金属”单位体积，从而卢比较高。例如，在“凌晨”的效果，金属矩形，但有坡度的侧墙上。我认为0.13微米及以下的卢比有模型这种效果。关于韩，英 www.eda - utilities.com [/QUOTE]喜Leeenghan：WEE线边缘肿大。任何影响（从制造业行为），导致真正的维度不等于绘图称为WEE。偏置，凹陷，侵蚀，梯形。